모든 원자는 고유한 파장 ( 에너지 )을 흡수 ( absorption )하면 바닥상태 ( ground state , 안정된 상태 )에서 여기상태 ( excited state , 흥분된 상태 )로 된다. 여기상태의 원자는 다시 안정한 바닥상태로 되돌아온다. 금속원자마다 그들이 흡수하는 고유한 특정파장과 발광하는 고유한 파장이 있다. 전자의 원리를 이용한 분석이 원자 ( atomic )흡광 ( absorption )광도계 ( spectroscopy )이고 후자의 원리 ( 원자가 내놓는 고유한 발광에너지 )를 이용한 것이 유도결합프라즈마 분광광도계이다. ICP-AES는 아르곤 가스를 6000도 이상의 초고온 상태로 만들어 아르곤 플라즈마를 생성시키고 , 그 속에 수용액 시료를 분무 도입시켜 시료에 들어있는 모든 원자를 여기 ( excited )시켜 버린다. 다시 이들이 내놓는 발광에너지를 광전 증배관으로 검출하여 특정 원소의 함량을 분석한다. 모든 원자가 한꺼번에 여기하므로 한꺼번에 많은 금속을 분석할 수 있는 장점이 원자흡광광도계 ( 1번에 1개의 금속만 분석: 고유한 파장을 통과시켜야 하므로 )와 다른 점이다. 즉 많은 금속원소를 동시에 분석하는 것이 가능하며 미량 ( ppb )의 농도까지도 분석이 가능한 장점이 있다. 대신 유지관리 및 기기구입 가격이 높은 것이 단점이다.
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