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실리콘 웨이퍼 제조공장 정비 엔지니어에서 발생한 폐암 2023.07.31
작성자 : 관리자 첨부파일첨부파일(1)
1. 근로자 ○○○(남, 1968년생)은 만 50세가 되던 2018년에 폐암을 진단 받았다. 

2. 근로자는 1989년 7월 □사업장에 입사하여 약 28년간 Saw 장비, Edge grinder, Lapping, Polishing, Cleaner 업무를 수행하였으며, 근로자는 이외에도 화공약품 중앙집중실 설비, X-ray, Etching, Wet blaster 등 장비 점검 및 수리, Set up 업무를 수행하였다.

3. 폐암에 대하여 충분한 근거를 가지고 발암물질로 분류된 인자에는 비소와 그 화합물, 석면, 라돈, 6가 크롬, 니켈화합물, 베릴륨과 그 화합물, 카드뮴과 그 화합물, 결정형 유리규산, 흡연, 실외공기오염(PM2.5와 PM10) 이 외에도 다양한 다핵방향족 탄화수소가 포함되어 있는 디젤엔진 연소물질 등이 있다. 

4. 근로자는 약 28년간 공무업무 과정 중 각종 화학물질(염산, 불산, 초산 등), 6가 크롬 및 중금속, 슬러리(비소), X-선에 다양하게 노출되었을 것으로 평가된다. 과거 장비 승온관 보온재로 석면을 사용했을 수 있기는 하나 그 노출 수준은 작업빈도를 고려했을 때 높지 않을 것으로 평가되며 각종 산, 전리방사선 역시 노출 수준은 높지 않았을 것으로 추정된다. 그러나 장비를 오픈하여 정비를 하거나 연마재를 사용한 장비 등의 정비 업무 및 부분 용접을 수행하는 과정에서 비소 및 중금속, 분진에 지속적으로 노출 되었을 것으로 판단된다. PM 작업의 특성 상 오퍼레이터의 노출수준보다 높았을 것으로 추정되며, 6가 크롬의 경우 2002-2003년 에칭공정에서의 작업환경측정결과 수준은 0.0009-0.0015 ㎎/㎥로 정비작업 시 이보다 높은 수준에서 노출되었을 가능성이 있다.

5. 근로자는 에칭공정 정비작업 시 0.0009-0.0015 ㎎/㎥보다 높은 수준에서 6가 크롬에 노출되었을 가능성이 있으며 이는 0.0002㎎/㎥를 초과하는 수준이다. NIOSH와 ACGIH에서 6가 크롬의 노출기준을 2017년에 0.0002 ㎎/㎥ 수준으로 강화하였으며 이는 0.0002㎎/㎥ 수준에서도 근로자 1,000명당 약 1명 폐암 초과 발생에 대한 코호트 연구결과를 반영한 결과이다. 이외에 정량화하기 어렵지만 비소 및 니켈, 강산에도 간헐적으로 노출되었을 것으로 판단된다. 따라서 우리위원회는 근로자의 상병은 업무관련성에 대한 과학적 근거가 상당하다고 판단한다.

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