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화학물질 물리적 위험성 시험·평가

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반도체 공정의 배관파열 원인추정물질(TEMAZ)의 물리적 위험성평가 2015.09.22
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** 본 게시물은 산업재해예방 등 공적인 목적 이외의 사용을 금합니다.

 

본 위험성평가는 배관파열사고 원인추정물질로 추정되는 TEMAZ와 반응부산물인 산화지르코늄(ZrO2)에 대한 공기 및 불화성분위기(질소퍼지)에서의 열안정성, 열분해 특성, 온도변화에 따른 압력특성 등의 물리적 위험성을 시차주사열량계(DSC), 열중량분석기(TGA), 가속속도열량계(ARC) 등을 이용하여 조사하고, 생산된 물리적 위험성 자료를 활용하여 배관파열 사고의 원인을 규명하고 동종재해 예방을 위한 안전대책 수립 시 활용하고자 실시하였다.

---  목차 ---

ㅇ 요약문

1. 서론
1-1. 평가배경 및 목적
1-2. 사고발생공정 및 원인물질
1-3. 위험성평가 범위

2. 실험 장비 및 방법
2-1. 시차주사열량계 및 열중량분석기
2-2. 가속속도열량계

3. 결과 및 고찰
3-1. TEMAZ의 열안정성
3-2. 반응부산물인 산화지르코늄의 열안정성

4. 사고 원인추정 및 예방대책
4-1. 사고원인추정
4-2. 동종재해 예방대책
4-3. 화학사고 예방을 위한 안전보건제도 개선방안

5. 요약 및 결론

참고문헌